কনফিগার করা হয়েছে | উচ্চ নিয়ন্ত্রণ (OEB4) | স্ট্যান্ডার্ড |
মেশানো, দানাদার এবং মিলিং ফাংশন | √ | √ |
ভ্যাকুয়াম ডিসচার্জিং | √ | √ |
মাইক্রো নেতিবাচক চাপ অপারেশন | √ | × |
বিশেষ নিষ্কাশন প্রক্রিয়া | √ | × |
ইতিবাচক-চাপ পরীক্ষার ফাংশন (শুধুমাত্র বৈধতার জন্য) | √ | × |
বাটি ঢাকনা sealing | ইনফ্ল্যাটেবল সীল | সীল রিং সীলমোহর |
খাওয়ানোর ব্যবস্থা | উত্তোলন + AB ভালভ | উত্তোলন / ভ্যাকুয়াম / ম্যানুয়াল |
ইনলেট এয়ার ফিল্টার | H13 HEPA ফিল্টার | 10μm ফিল্টার |
নিষ্কাশন ফিল্টার | H13 HEPA ফিল্টার | 10μm ফিল্টার |
WIP ফাংশন | অভ্যন্তরীণ পৃষ্ঠ সম্পূর্ণরূপে আচ্ছাদিত | অভ্যন্তরীণ পৃষ্ঠ মূলত আচ্ছাদিত |