Конфигурацияланған | Жоғары шектеу (OEB4) | Стандартты |
Араластыру, түйіршіктеу және ұнтақтау функциясы | √ | √ |
Вакуумды разрядтау | √ | √ |
Микро теріс қысыммен жұмыс істеу | √ | × |
Арнайы сору механизмі | √ | × |
Оң қысымды сынау функциясы (тек валидация үшін) | √ | × |
Ыдыстың қақпағын нығыздау | Үрленетін тығыздағыш | Тығыздағыш сақина тығыздағыш |
Азықтандыру жүйесі | Көтеру + AB клапаны | Көтеру/вакуум/қолмен |
Кіріс ауа сүзгісі | H13 HEPA сүзгісі | 10 мкм сүзгі |
Шығару сүзгісі | H13 HEPA сүзгісі | 10 мкм сүзгі |
WIP функциясы | Ішкі беті толығымен жабылған | Ішкі беті негізінен жабылған |