구성됨 | 높은 봉쇄성 | 기준 |
건조 | √ | √ |
로타리 방전 | √ | √ |
부압 작동 | √ | × |
비보 필터 | √ | × |
양압 테스트 기능 (검증 전용) | √ | × |
배기관 세척(사전 역전) | √ | × |
챔버 밀봉 | 팽창형 씰 | 실린더 상단 리프팅 씰 |
방폭구조 | 12바 스터프y 폭발 | 2바 폭발 배출 |
흡입 공기 필터 | H13 | 10μm 필터 |
배기필터 | F9+H13 | F9 |
WIP 기능 | 내부 표면이 완전히 덮여 있음 | 내부 표면은 기본적으로 덮여 있음 |