Dikonfigurasikan | pembendungan tinggi (OEB4) | Standard |
Fungsi pencampuran, pengisaran dan pengilangan | √ | √ |
Penyahcasan vakum | √ | √ |
Operasi tekanan negatif mikro | √ | × |
Mekanisme ekzos khas | √ | × |
Fungsi ujian tekanan positif (hanya untuk pengesahan) | √ | × |
Pengedap penutup mangkuk | Pengedap kembung | Meterai cincin meterai |
Sistem pemakanan | Mengangkat + injap AB | Mengangkat/vakum/manual |
Penapis udara masuk | Penapis H13 HEPA | penapis 10μm |
Penapis ekzos | Penapis H13 HEPA | penapis 10μm |
Fungsi WIP | Permukaan dalam tertutup sepenuhnya | Permukaan dalam pada dasarnya dilindungi |