การกำหนดค่า | การกักเก็บสูง (OEB4) | มาตรฐาน |
ฟังก์ชั่นการผสม การบด และการบด | √ | √ |
การระบายสูญญากาศ | √ | √ |
การทำงานด้วยแรงดันลบไมโคร | √ | × |
กลไกการระบายไอเสียแบบพิเศษ | √ | × |
ฟังก์ชั่นทดสอบแรงดันบวก (เพื่อการตรวจสอบเท่านั้น) | √ | × |
การปิดฝาชาม | ซีลเป่าลม | ซีลแหวนซีล |
ระบบการให้อาหาร | ลิฟท์+วาล์ว AB | การยก/ดูดฝุ่น/ด้วยมือ |
ตัวกรองอากาศเข้า | ตัวกรอง H13 HEPA | ฟิลเตอร์ 10μm |
ไส้กรองไอเสีย | ตัวกรอง H13 HEPA | ฟิลเตอร์ 10μm |
ฟังก์ชั่น WIP | พื้นผิวด้านในปกคลุมเต็มพื้นที่ | พื้นผิวด้านในถูกปกคลุมโดยทั่วไป |