Đã cấu hình | Độ chứa cao (OEB4) | Tiêu chuẩn |
Chức năng trộn, tạo hạt và nghiền | √ | √ |
Xả chân không | √ | √ |
Hoạt động áp suất âm vi mô | √ | × |
Cơ chế xả đặc biệt | √ | × |
Chức năng kiểm tra áp suất dương (chỉ để xác thực) | √ | × |
Nắp bát bịt kín | Con dấu bơm hơi | Vòng đệm kín |
Hệ thống cho ăn | Nâng + van AB | Nâng/hút chân không/thủ công |
Bộ lọc khí đầu vào | Bộ lọc HEPA H13 | Bộ lọc 10μm |
Bộ lọc khí thải | Bộ lọc HEPA H13 | Bộ lọc 10μm |
Chức năng WIP | Bề mặt bên trong được phủ kín hoàn toàn | Bề mặt bên trong về cơ bản được bao phủ |