Đã cấu hình | Sự ngăn chặn cao | Tiêu chuẩn |
Sấy khô | √ | √ |
Xả quay | √ | √ |
Hoạt động áp suất âm | √ | × |
Bộ lọc BIBO | √ | × |
Chức năng kiểm tra áp suất dương (chỉ để xác thực) | √ | × |
Vệ sinh ống xả (đã đảo ngược trước) | √ | × |
Buồng niêm phong | Con dấu bơm hơi | Phớt nâng đầu xi lanh |
Cấu trúc chống cháy nổ | 12 thanhy nổ | Thông gió nổ 2 thanh |
Bộ lọc khí đầu vào | H13 | Bộ lọc 10μm |
Bộ lọc khí thải | F9+H13 | F9 |
Chức năng WIP | Bề mặt bên trong được phủ kín hoàn toàn | Bề mặt bên trong về cơ bản được bao phủ |